特征

NAS Giken 的特點(diǎn)

出色的體蝕刻能力

我們的塊狀蝕刻性能非常好，我們保證平整度在 10% 以內(nèi)。

世界**的污染回收能力

我們還獲得了親水硅片回收的國內(nèi)**，并擁有世界**的功能和技術(shù)能力。

產(chǎn)品分類
簡易型微量金屬污染物采樣設(shè)備（SC系列）

無塵通風(fēng)柜（NCD系列）

追加了SC-2000 / SC-3000無法實(shí)現(xiàn)的親水晶圓污染物采樣功能。

可以對硅材質(zhì)以外的晶圓、由于蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓進(jìn)行采樣操作。當(dāng)然，也可以進(jìn)行傳統(tǒng)的憎水采樣操作。

SC-3100

●通過與計(jì)算機(jī)聯(lián)機(jī)，可選擇豐富多樣的采樣模式，對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進(jìn)行采樣操作。
●因?yàn)椴惶枰獠抠Y源，也不太占地方，易于導(dǎo)入。
●采樣操作由設(shè)備自動完成，無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設(shè)備自動操作，與SC-2000相比，可以減少由操作員引起的污染。

SC-8100
●具有對親水晶圓污染物進(jìn)行采樣的功能、對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓也可進(jìn)行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態(tài)、采樣液種類的要求不苛刻，另外，還可以對非重金屬離子進(jìn)行采樣。
●當(dāng)然，也可以進(jìn)行傳統(tǒng)的憎水采樣操作。

SC-9100
●具有對親水晶圓污染物進(jìn)行采樣的功能、對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓也可進(jìn)行采樣操作。
●對于晶圓表面狀態(tài)，以及采樣液種類的采樣限制，本設(shè)備有所突破，另外，也可以對非重金屬離子進(jìn)行采樣。
●當(dāng)然，也可以進(jìn)行常規(guī)的憎水采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動由設(shè)備自動操作，與SC-8100相比，可以減少由操作員引起的污染。