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  • MIKASA米卡薩顯影機

    MIKASA米卡薩顯影機

    MIKASA米卡薩為半導體制造工序提供支持的
    MIKASA米卡薩備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務。另外,為旋轉涂膜儀的所有機型準備了替代用機,可在發(fā)生故障時盡早應對,且在銷售后提供快捷周到的售后服務。針對研究過程中所發(fā)生的一系列問題,也可在現場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個工序出現了問題、應如何改進等等,從而得出解決建議。

    MIKASA米卡薩作為一個可在半導體方面進行共同商談的咨詢顧問,不僅銷售設備,而是為客戶半導體制造的整體工藝流程

    晶圓→洗滌(**晶圓表面的臟污及各種金屬離子)→成膜(在高溫擴散爐中,形成表面氧化膜)→光刻膠涂布(將光刻膠(感光材料)涂抹到晶圓表面,形成厚度均一的薄膜)→曝光(將光掩膜與晶圓重合,復制電路圖案)→顯影(去除曝光部位(正膠)的光刻膠)→蝕刻(通過腐蝕氧化膜來蝕刻電路)

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