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MODEL 3200系列是新型質(zhì)量流量控制器，是3910系列的后續(xù)產(chǎn)品，已在半導(dǎo)體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領(lǐng)域得到驗(yàn)證。
它是一種適用于新Cofflock標(biāo)準(zhǔn)的高性能型號(hào)。

配備溫度跟蹤式電流差檢測(cè)型流量傳感器，實(shí)現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)
采用常閉閥門(mén)，方向操作**
采用隔膜閥，減少死體積
F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項(xiàng)）
低壓差兼容燃?xì)饪刂?/span>（LP選項(xiàng)）

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

流量范圍（N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門(mén)方法		比例螺線管閥門(mén)（未通電時(shí)關(guān)閉）
控制范圍		2~100％（F.S.）
響應(yīng)速度		1秒內(nèi)（±2％FS內(nèi)）
準(zhǔn)確性		±1％FS（15~35°C）
再現(xiàn)性		±0.2%F.S.
操作壓差范圍		F.S.≤5SLM 50. 300 kPa（G）
		F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa（G）
		選項(xiàng)：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造
可工作壓力		300kPa（G）以下
耐壓		980kPa（G）
He泄漏率（* 1）		1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周?chē)鷾囟?		0~50℃
允許環(huán)境濕度		10~90%RH（無(wú)結(jié)露）
氣體接觸材料		車(chē)身SUS316L
		隔膜SUS316
		閥座PTFE
電氣連接		Dsub 9針KFC標(biāo)準(zhǔn)（符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)）
流量設(shè)定輸入信號(hào)		0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上）
流量輸出信號(hào)		0~5 VDC（外部負(fù)載電阻250kΩ以上）
所需電源		+15 VDC（±5％）100 mA，-15 VDC（±5％）200 mA
配件（車(chē)身尺寸）		標(biāo)準(zhǔn)1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF）選項(xiàng)1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等
重量		約1000g

（* 1）不含滲透。
長(zhǎng)期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級(jí)側(cè)小于300kPa，次級(jí)側(cè)向大氣開(kāi)放。
有關(guān)壓力條件，請(qǐng)另行咨詢(xún)。

如果有任何關(guān)于KOFLOC小島流量計(jì)的疑問(wèn)，請(qǐng)隨時(shí)與我們溝通

我們將盡全力解決您的問(wèn)題。

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下列型號(hào)均有售

KOFLOC小島流量計(jì)用于大流量的流量計(jì)MODEL RK1950 AP SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)樹(shù)脂制丙烯酸樹(shù)脂制流量計(jì)MODEL RK500 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)樹(shù)脂制流量計(jì)MODEL RK20T SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)氣體混合專(zhuān)用流量計(jì)MODEL RK120XM SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于多個(gè)實(shí)驗(yàn)室中的**流量測(cè)量多流量計(jì)MODEL RK140X SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)帶針閥的多流量計(jì)MODEL RK120X SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于大流量的流量計(jì)MODEL RK2000?RK2005?RK2006 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于警報(bào)開(kāi)關(guān) 帶光電傳感器的流量計(jì)MODEL RK1812?RK1814 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于警報(bào)開(kāi)關(guān) 帶開(kāi)關(guān)的流量計(jì)MODEL RK1970?RK1975?RK1976 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于科學(xué)測(cè)量設(shè)備吹掃流量計(jì)MODEL RK1000 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于科學(xué)測(cè)量設(shè)備帶針閥的吹掃流量計(jì)MODEL RK1600R SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于科學(xué)測(cè)量設(shè)備帶針閥的吹掃流量計(jì)MODEL RK1650 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)低成本流量計(jì)MODEL RK1700 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)緊湊型流量計(jì)MODEL RK1710 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)低泄漏流量測(cè)量控制用波紋管針閥流量計(jì)MODEL RK1500 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)低壓損流量計(jì)MODEL RK130/230/260 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)可更換錐形管的簡(jiǎn)易流量計(jì)　柔性流量計(jì)MODEL RK1100 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)用于**的流量測(cè)量控制裝備有精密針閥的流量計(jì)MODEL RK1200 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)液體用恒定流量閥MODEL 2600-PPS

KOFLOC小島流量計(jì)不受供應(yīng)側(cè)壓力波動(dòng)影響的一次壓力波動(dòng)型氣體流量控制器MODEL 2204 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)簡(jiǎn)易多旋轉(zhuǎn)型適用于大流量的簡(jiǎn)易針閥MODEL 2400D SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)精密加工旋轉(zhuǎn)式針閥【禁油規(guī)格（無(wú)油脂）】MODEL 2420 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)液體用恒定流量閥MODEL 2600 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)根據(jù)設(shè)定刻度控制流量附多刻度盤(pán)精密針閥MODEL 2412M SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)非旋轉(zhuǎn)式針精密閥門(mén) 精密針閥MODEL 2412 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)穩(wěn)定控制大流量大流量精密針閥MODEL 2412D SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)面板固定迷你型簡(jiǎn)易針閥MODEL 2400/2400A SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)不受出口側(cè)壓力波動(dòng)的影響適用于二次壓力波動(dòng)型氣體的流量控制器MODEL 2203 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)小型比例電磁閥MODEL 3000 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)背壓閥MODEL 6800 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)低壓調(diào)節(jié)專(zhuān)用精密調(diào)節(jié)器壓力調(diào)節(jié)閥MODEL 6610 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)分析儀器專(zhuān)用調(diào)節(jié)器大流量專(zhuān)用壓力調(diào)節(jié)閥MODEL 6700 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)分析儀器專(zhuān)用精密調(diào)節(jié)器壓力調(diào)節(jié)閥MODEL 6600 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)液體專(zhuān)用流量計(jì)超音波流量計(jì) FML-500

KOFLOC小島流量計(jì)低成本數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)MODEL D3810 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)**金屬密封質(zhì)量流量控制器MODEL 5100 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)**質(zhì)量流量控制器MODEL 3200 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)帶有顯示器的數(shù)字質(zhì)量流量控制器/計(jì)量器MODEL D8500 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)帶顯示屏的數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF300DF550DF200DF250

KOFLOC小島流量計(jì)帶有顯示器的數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)MODEL DF-350C SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)帶有顯示器的數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)EX-250SEX-550 EXE-FLOWTM MODEL EX-700 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)小型數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表EX-700EX-550 MODEL EX-250S SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表EX-700EX-250S MODEL EX-550 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 液體專(zhuān)用小型卡門(mén)渦街流量計(jì)FM31（聚四氟乙烯：PFA） SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)低成本質(zhì)量流量傳感器 MODEL 3810S SERIES

KOFLOC小島流量計(jì)液體專(zhuān)用小型卡門(mén)渦街流量計(jì)FM01 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 質(zhì)量流量控制器，適用于高流量 HFC-303 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 小巧讀出裝置 MODEL CR-400B

KOFLOC小島流量計(jì)液體專(zhuān)用流量控制器FCL-200

KOFLOC小島流量計(jì) 帶顯示屏的數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF350DF550DF200DF250 MODEL DF-300C SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 低成本金屬密封質(zhì)量流量計(jì)MODEL 5410 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 全金屬數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF350DF300DF200DF250 MODEL DF-550C SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF350DF300DF550DF250 MODEL DF-200C SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 低成本質(zhì)量流量計(jì)，帶顯示屏MODEL 3810DS Ⅱ SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) **質(zhì)量流量計(jì)MODEL 3100 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量計(jì)MODEL 3760 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器MODEL 3660 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 顯示質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)MODEL 8500 SERIES

KOFLOC小島流量計(jì) 數(shù)字質(zhì)量流量控制器DF350DF300DF550DF200 MODEL DF-250C SERIES

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**質(zhì)量流量控制器

MODEL 3200系列是新型質(zhì)量流量控制器，是3910系列的后續(xù)產(chǎn)品，已在半導(dǎo)體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領(lǐng)域得到驗(yàn)證。 它是一種適用于新Cofflock標(biāo)準(zhǔn)的高性能型號(hào)。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

MODEL 3200系列是新型質(zhì)量流量控制器，是3910系列的后續(xù)產(chǎn)品，已在半導(dǎo)體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領(lǐng)域得到驗(yàn)證。
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